​精密洗浄事業

​精密洗浄とは

例えば半導体製造や成膜・蒸着等の各装置内は製造が進むにつれ、次第に汚染されるとともに反応生成物が堆積されます。

これらの汚染・堆積物は一定量以上になると剝がれ落ち製造中のICを汚染し、製品不良の原因となります。


そのために、製造装置のメンテナンス時にこれらの部品を取り外し、精密洗浄をおこなう必要があります。
精密洗浄とは、目に見えない汚れや残留物までも取り除き、微粒子やイオン状物質を製品製造上問題とならないレベルにまで除去する洗浄のことです。
精密洗浄は製造装置の高歩留りに貢献し、製造コストの削減にも寄与しています。

​オーティエスの特色

  1. 近郊/遠方のお客様に合わせた、最適な輸送方法でタイムリーに集配いたします。

  2. 機械加工工場のメリットを生かし、破損時に修理や代替え品の製作などがタイムリーに行えます。

  3. 豊富なノウハウを活用し、洗浄部品のロット管理から劣化状況などデータ蓄積し、部品交換の時期をお知らせします。

  4. ​お客様の用途や着膜物質に合わせて、ベストな洗浄方法をご提案いたします。

  5. ​受入時・出荷前に検査を行い、レポートを行いますので防着板の劣化状態など、ご確認頂けます。

水

OTS強み

・短納期対応 ※通常1~2週間で回転可能

・試作や少量などでも、短納期/低価格で施工可能

・アルミ溶射など表面処理も得意としています

​お引取り

自社便または運送業者にて

​引取りに伺います。

ブラスト洗浄

ABB or GBB

​純水→乾燥

受入検査

数量/着膜状況/破損状況など

​受入検査にてレポートします。

​出荷前検査

面粗度、寸法、破損状況

​平面度、ヘリサート挿入など

​薬液洗浄

薬液→純水→乾燥

梱包・出荷

脱気梱包、検査表添付

​自社便or運送便でお届け

IMG_20191218_172034_14_edited.jpg
付着物: Mo_Al 
IMG_20191218_170037_7_edited.jpg
​精密洗浄後
処理前(膜面)_edited.jpg
付着物: ITO膜
処理後(基板面)_edited.jpg
処理後(基板面)_edited_edited.jpg
​精密洗浄後

​きれいにする前に、汚れないようにしたい。

当社では、長年真空装置に携わってきたノウハウを活かし、パーティクルの抑制や、不要部分への着膜を減らすなど、様々なご提案を行っております。お預かりした部品を、きれいにすることは当然として、汚れないように改善提案を行っておりますので、お悩みなどございましたら、お気軽にご相談ください。

IMG_1783_edited.jpg

​溶射について

電気を使用したアーク方式・酸素、アセチレンガスを使用したガス方式にて溶射材(アルミ・ステンレス・銅等々)を吹き付け。ワーク表面に被膜を形成させます。

※防錆効果・アンカー効果が期待出来ます。
※他、プラズマ方式によるセラミック溶射等も施工可能です。

アーク溶射方式

■適用溶射材

アルミ・銅・SUS440C・SUS316L 他

ガス溶射方式

■適用溶射材

アルミ・チタニア・ニッケルアルミ 他

プラズマ溶射方式

■適用溶射材

セラミック 他 ご相談ください。